氧傳感器是否損壞可以通過多種方法來判斷。

首先，觀察氧傳感器頂部的顏色。淺灰色頂部是正常的；白頂是硅污染導致，必須更換；棕尖是鉛污染引起，嚴重時也需更換；黑頂是積碳造成，排除發動機積碳故障后，一般能自動清除積碳。

其次，查看氧傳感器工作時的電壓。電壓在0.5V左右波動，波動范圍在0.1-1V之間，每10秒鐘電壓跳變頻率約為8-10次。若電壓波動幅度太小或跳動頻率慢，可能存在問題。

另外，氧傳感器中毒也是常見故障。含鉛汽油容易導致鉛中毒，輕微鉛中毒可用無鉛汽油清除表面鉛，若鉛侵入內部則需更換。硅中毒則通常由汽油和潤滑油中的硅化合物，以及不當使用的硅橡膠密封墊散發的硅氣體引起，要使用優質燃油和潤滑油。

還有，發動機燃燒不好會在氧傳感器表面形成積碳，阻礙其正常工作，清除沉積物可能恢復正常。氧傳感器陶瓷易碎，受硬物敲擊或強烈氣流吹洗可能碎裂失效，要小心處理。加熱型氧傳感器的加熱器電阻絲燒斷會使其難以達到正常工作溫度而失效。氧傳感器內部線路斷脫也會影響其工作。

觀察車輛狀況也能輔助判斷，比如發動機油耗和排氣污染增加、出現怠速不穩、缺火等現象。前氧寬頻傳感器有六根導線，可用萬用表測量各線電壓數值來判斷，如加熱供電線電壓在啟動車輛時約14V，氧傳感器信號線電壓在車輛啟動時約2.99V等。前氧窄頻傳感器有四根導線，可測量信號線電壓，理想值約0.45V，應在0.1V-0.9V間跳動。后氧傳感器普遍為四線，可通過診斷儀讀取電壓數據流，怠速時約0.2V，急加油門時在0.6V-0V間變化，也可測量加熱線圈阻值來判斷。