真空壓力傳感器的工作原理是基于多種原理的。

一種常見原理是“彈性變形”，即內部薄膜受到進氣道真空壓力時被壓迫變形，膜片上的金屬或碳粉電極間產生隨壓力增加而增加的電壓，用于控制燃油和空氣混合比例。

還有一種是介質壓力直接作用在傳感器膜片上，使膜片產生微位移，導致傳感器電阻變化，電子線路檢測并轉換輸出對應標準信號。

像熱陰極離子化真空傳感器，通過加熱陰極使氣體分子電離產生電子，測量電子漂移速度確定壓力，精度高、響應快，適用于廣泛真空范圍。

熱陰極電離真空傳感器通過加熱陰極使氣體分子電離形成離子云，測量離子云電流確定壓力，對氣體種類依賴小。

電容真空傳感器利用電極間電容隨壓力變化來測量，靈敏度和穩定性高。

熱導真空傳感器將熱絲暴露在真空環境，根據熱絲受氣體分子散熱影響的溫度變化推導出壓力，穩定性和長期可靠性好，適用于高真空環境。

不同應用領域對真空環境要求不同，要選擇適合的傳感器類型和規格，還需與數據采集或控制系統配合，實現對真空環境的精確監測和控制。