容易導致真空泵出現故障的因素主要有以下這些。

首先，運行不正常影響真空，比如汽水分離器水位不正常，真空系統閥門誤開、關不嚴，管道和法蘭泄漏，密封水異常，系統管道及低加連續放氣管道損壞，低加水位計、大氣釋放閥、真空系統放水門、低壓結合面等泄漏，小機排氣系統不正常，冷卻器冷卻效果差，制冷機故障，水環真空泵故障等。

其次，真空泵不工作且出口壓力表及真空表指針劇烈跳動，可能是灌水量不夠，抽/出氣管路、密封儀表漏水，起動時出口閥門開啟太大，底閥淹沒深度不夠，沒灌滿水有空氣，進氣管路漏氣、安裝不對堵氣，出口處堵氣逆止閥不能打開。

再者，不吸氣且真空表顯示高真空，原因可能是底閥無法打開或淤塞，過濾器、吸入管堵塞，吸程過高。

然后，出現噪聲及振動，或許是真空泵及管路中有空氣未排除，偏離設計工況運行，超負荷運行，及管路支撐不良，發生氣蝕。

還有，達不到設計流量及揚程，可能是有異物，淹沒深度不夠，電源頻率問題。

另外，電機超電流，原因包括超大流量運行，葉輪與泵體口環擦碰，介質混入異物，電壓過低，軸承損壞，轉速過快，電纜線絕緣不夠，電機絕緣不夠。

除此之外，泵腔、設備在運轉中受高溫、高壓、強腐蝕、氣蝕沖刷等惡劣環境影響會出現磨損、腐蝕、泄露。

日常中要注意對真空泵進行細心的維修與保養，比如安裝過濾網、捕污腔、連續泵油過濾裝置，定期檢查油量、更換油等，從而降低故障出現的概率，保證設備使用壽命更長。