氧濃度傳感器的精度因類型和應用場景不同而有所差異。

比如安費諾氧氣濃度傳感器 SGX-VOX 用于嬰兒保育箱，在 0~40℃寬溫范圍下，氧氣測量精度能做到 2%以內。

潤普 OCS-3C 超聲波氧濃度傳感器在 5~60℃的濃度檢測精度為±1.5%FS。

奧松電子推出的 AOF2000 超聲波氧氣傳感器，氧氣濃度檢測精度提升至±1.5%F.S。

在醫療領域，如呼吸機中常用的氧電池氧傳感器，其測量精度也有一定標準。比如有的廠商檢測是分別在 21%、100%氧濃度環境下測氧電池輸出電壓，分析偏差是否在 5%允許范圍內。還有利用氧濃度測定儀核對，精度能達 1%~2%。

當氧濃度測量值與設置值偏差較大時，要先檢查氧源、空氧混合器等是否正常。若偏差超過一定范圍，可能氧電池失效，需要更換或定標。

總之，不同類型的氧濃度傳感器精度各有特點，要根據具體需求和使用環境選擇合適的傳感器。