真空泵修理后進行性能檢測主要包括以下方面：

首先，要清擦潔凈泵的全部部分，去除油污、臟物。取下皮帶，用倒順開關試馬達正反轉，確保其轉向與泵輪所標箭頭方向一致。若泵輪無標記，可用手掌壓住泵進氣口，以另一手盤動皮帶輪，感到向內有吸力時的轉動方向即為正確方向，做好標記后上好皮帶。開泵前在泵進氣口接入測試裝置，通常用真空橡皮管一端插入熱偶規管，一端插入泵進氣口，橡皮管口抹少許*潤滑。橡皮管上夾鐵夾子，若用金屬管道相接，需用法蘭盤接于泵口，另一端用金屬玻璃封接接入規管或用規管接頭，管道中間要有放氣閥。先用手盤動皮帶輪數圈，無阻礙時可斷續啟動馬達，讓泵正常運轉。

其次，檢查真空泵的運轉狀況。聽泵音有無雜音、特別音；看出氣口閥門片跳動情況；檢查油是否達油標中心，有無漏油、漏氣、漏水；檢查泵腔外表有無變形等，并逐一做好記錄。

然后，用高頻火花檢漏器、熱偶真空計檢查真空度變化。火花打在規管管頸上，由輝光顏色推斷真空度狀況。正常時，泵開啟后輝光顏色應從深紫、玫瑰紅逐步變為淺藍，直到輝光極微。在輝光轉為淺藍色后，可用熱偶真空計監測真空度。若火花檢漏器在玻璃管上移動打不出輝光且火花能鉆入管內成線狀，說明真空度極低。若熱偶規管測真空度有一定指示，可夾上鐵夾子或突然停泵短時間記取壓強隨時間變化曲線，判斷是泵的問題還是漏氣造成的。

此外，還需注意一些細節。如安裝真空泵應檢查電機是否正轉；若有吸入雜質等潛在危險，應加裝精密過濾器和儲蓄罐；泵內真空泵油不低于油標線，且不能混合使用不同牌號、型號的油；應安裝在清潔環境，定期更換真空泵油；長時間停機啟動前應斷續多次啟動；若需 24 小時運轉，每半年要保養維修。