真空泵常見故障主要有以下幾種類型：

1. 泄漏故障：常見于油窗、油罐墊片和電機軸承軸密封處，原因多是部件老化、使用不當或密封不適用。可先檢查是否本身輕微泄露，再打開泵排出非油污造成的壓縮蒸汽，檢查供油系統閥門、清潔葉輪、查看油管閥門是否變形損壞、機油是否充足、供油閥門及葉輪旋轉、真空泵旋轉張力是否正常。

2. 無法達到最佳水平：先檢查系統是否泄漏空氣，然后排出非油污壓縮蒸汽。原因可能是泵油需更換、油過濾器堵塞、旋轉泵的旋轉真空或彈簧彈力不足、泵室臟污、排氣閥異常等。此時應更換相關部件、清洗泵室、檢查排氣閥。

3. 電機運行中停止工作：通常因壓差大、油污失衡、初始化不正常。可通過停止使用并檢查電源、電路來解決，若電路故障則更換電氣部件。

4. 冷卻器進水故障：水過多進入真空泵，需清洗并更換油泵，同時及時釋放冷卻器中過高水位。

此外，水環式真空泵還可能出現真空度不夠、啟動不了或噪音大、電機過熱、流量不足、機械密封泄露、盤車困苦等問題。

真空度不夠可能是電機供電、供水量、葉輪與分配板間隙、機械密封、葉輪磨損、循環水排出等方面的問題。

啟動不了或噪音大可能是電機供電電壓、電機缺相、泵銹蝕、泵內有雜物、葉輪拖分配板等原因。

電機過熱可能是供水量、電機缺相、排氣孔堵塞、葉輪拖動其他部件所致。

流量不足可能是管路漏氣漏液、阻力損失增加。

機械密封泄露可能因拆卸不當、結冰水壓力過大、動靜環密書面破裂等。

盤車困苦可能是泵兩端定位軸承間隙未調整好、軸承內圈沒裝置到位、葉輪與泵兩端面的間隙沒調整好、機封動靜環密書面破裂后相互卡幫。

其他類型真空泵如螺桿泵、往復泵也有各自常見故障及處理方法。

真空度不高可能是被抽氣體溫度高、吸入硬物磨損、冷卻水流量不夠、裝配不當、本身漏氣等原因，可采取讓氣體冷卻、修復或更換部件、加大冷卻水流量、重新裝配、檢查并更換密封圈等措施。

真空泵起動困難可能是已返油、長期不運轉或停機后未放入大氣、油溫低、電源缺相，可通過手扳皮帶輪、給油加溫、檢修電源等解決。

抽不出液體可能是未灌注液體、管路堵塞、未排凈氣體、吸上高度超范圍、壓出管路太細、使用揚程超設計揚程、輸送熱的揮發性介質、轉向反了，對應的解決方法是重新灌泵、消除雜物、檢修吸入管路并排凈氣體、重新安裝、更換壓出管路、重新選泵、降低吸程或倒灌安裝、糾正轉向。

電機、真空泵運轉異常可能是溫度太高、彈簧變形或斷裂、裝配不當、過濾網損壞、腔內污染嚴重、油變質、電機故障，可采取降溫、更換彈簧、重新裝配、清除碎屑、清洗除銹換油、檢修電機等措施。